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亚博网站合作西甲买球:北航亚博网站合作西甲买球超高真空传样器采购公告

发布日期:2022-08-01   点击量:

1. 采购货物有关信息

1)货物名称:超高真空传样器

2)技术指标:

设备名称、型号及数量

序号

名称

型号

数量

单位

1

超高真空传样器

TREC-Transfer400

1

设备性能指标

设备性能指标验收项目

验收标准

? 真空度

? 样品尺寸

? 样品台升降旋转

? 腔体设计

? 可拓展能力

l 极限真空优于1×10-7mbar

l 样品尺寸4inch,向下兼容

l 样品台可360°旋转,升降行程20mm

l 定制超高真空腔体,材质316L不锈钢,电解抛光;

l 提供设计图纸,可与现有设备连接实现多个腔体

的互联及样品传输。

系统技术配置方案及指标

序号

货物/服务名称

详细参数要求

1

超高真空传样器


1、圆柱形超高真空腔体,外部6CF150法兰实现与其他系统的互联,材质为316L不锈钢,符合超高真空要求的不同尺寸法兰口用于连接泵组和真空计等组件,表面电解抛光。可以实现多个设备的互联和4inch样品的真空传输与过渡,配置CF150观察窗,方便观察腔体内部状态。

2、气动闸板阀(VAT或同级别,2)位于腔体两侧,与两套真空设备进行互联,CF150,气动,带位置反。刂朴敕蠢∮PLC交互。

3、真空抽气系统采用10iISP-90等同级别无油干泵, 普发80及以上抽速涡旋分子泵(或同级别泵组,CF接口,配备控制器),配备电磁控制阀和排气管路,均有PLC控制自动完成抽气和排气过程。 普发或英福康全量程真空计实现真空测试与显示(测试范围大气至10-9mbar, 皮拉尼真空计实现前级真空探测,PLC自动完成泵组启停控制等。

4、本底真空优于1×10-7mbar,系统整体可承受烘烤温度200摄氏度。

5、样品台兼容4inch及以下样品的,可以实现晶圆的抓取与传输,配备磁耦可以实现晶圆360度旋转,样品台升降行程20mm,方便兼容不同系统的传样高度。样品台可烘烤至200摄氏度。

7、真空腔体底部配置一个2英寸超高真空磁控溅射阴极IONIX,TFC CF150集成阴极,强磁场设计,距离可调,范围100mm,带气动挡板和烟囱,与现有设备气路和电源共享,实现样品预清洗和预溅射。

6、配置7米加热带及自动温控系统,可实现系统的烘烤,观察窗口配备LED灯。

7、控制系统采用PLC实现对泵组,抽气及排气的控制,实现对传输过程中闸板阀等的控制。与现有设备兼容,可以实现故障报警、真空互锁等保护,需完成对整套系统的集成及调试。

4)交货期:合同签订后5个月

5)交货地点:北京航空航天大学北区第一馆

6)是否接受进口产品:是

2、采购预算(最高限价):48万元

3、参选单位资格要求:

1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;  

    ① 具有独立承担民事责任的能力;

    ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

    ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

3)本项目不接受联合体响应;

4)本项目不允许转包、分包;

5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

4、报名方式及截止时间:

报名方式:将报名信息(公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间:20228月5日17时(公示三天)。

5、竞价会时间及方式:

时间:20228月6号;方式:鉴于疫情影响,采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

6、参加竞价会所需提供材料:

8月5日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄至以下地址:

地址:北京市海淀区学院路37号第一馆223

张昆收,手机号:15063398763

7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

张昆 老师,邮箱: Zhang_Kun@buaa.edu.cn

8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):

邵老师,bhsme@buaa.edu.cn010-82316712(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)





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