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亚博网站合作西甲买球:许开东

发布日期:2020-09-29   点击量:

许开东,教授,博导。集成电路制造行业专家,现任江苏鲁汶仪器有限公司董事长兼总经理,中国科学院微电子研究所聘任为客座研究员,国家级专家人才。出生于1977年3月,1999年6月获北京大学化学专业学士学位,1999年9月-2004年6月在欧洲微电子研发中心(IMEC)任湿法清洗基础研究员,2004年6月获比利时鲁汶大学(Catholic University of Leuven)化学专业博士学位,2004年7月-2008年11月任职瑟斯半导体(SEZ)项目经理负责90-45纳米技术代工艺开发,2008年12月-2010年9月任职科林研发(Lam)湿法清洗工艺项目经理,2010年10月-2012年10月任职欧洲微电子研发中心(IMEC)等离子刻蚀组研发主管负责28纳米技术代的中道及后道等离子刻蚀工艺开发,2012年10月-2015年8月在IMEC任等离子刻蚀研发部门经理、先进图案中心运营官,2015年回国创业,针对半导体装备制造和刻蚀工艺等我国被卡脖子的关键技术领域展开攻坚,正在进行磁随机存储器专用刻蚀机装备研发以及磁性金属多层膜刻蚀工艺研发,以解决极具难度的大尺寸晶圆、高图形密度、多种膜层材料等多种工艺要求,推动MRAM规模化生产。

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